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宏图苏州工业园区半导体技术服务有限公司专利技术
宏图苏州工业园区半导体技术服务有限公司共有10项专利
一种用于节流阀检测的流量测试装置制造方法及图纸
本技术公开了一种用于节流阀检测的流量测试装置,涉及节流阀技术领域;而本技术包括节流阀本体,节流阀本体的顶端固定连接有安装座,安装座上设置有气密流量计,气密流量计的底端固定连接有底座,底座内壁的顶端中部转动连接有转动块,转动块的两侧均转动...
一种高稳定性半导体设备节流阀流量检测仪制造技术
本技术公开了一种高稳定性半导体设备节流阀流量检测仪,包括检测台,所述检测台上端面设有定量检测阀,所述定量检测阀一侧设有主气管且主气管一端设有密封结构,所述密封结构包含前侧管、后侧管和插杆,所述主气管一端固定连接在前侧管且前侧管一端固定设...
一种半导体设备节流阀的压力及流量检测装置制造方法及图纸
本技术公开了一种半导体设备节流阀的压力及流量检测装置,涉及半导体检测设备技术领域;而本技术包括节流阀外壳和拆卸机构,拆卸机构包括固定箱,固定箱固定安装在节流阀外壳的外侧;通过采用上述技术方案,固定箱和外侧设有连通的凹槽,检测器插设在凹槽...
一种半导体节流阀流量控制精度检测设备制造技术
本技术公开了一种半导体节流阀流量控制精度检测设备,涉及节流阀检测设备技术领域,包括底板,底板顶部通过定量抽风机设置连接管以及控制阀,底板顶部还设置流量表,出气管的出气端设置节流阀,底板顶部右侧通过测试座设置伸缩杆、夹持板、L型支板、电动...
一种半导体设备真空压力控制阀的初始压力检测装置制造方法及图纸
本实用新型涉及真空压力控制阀检测装置技术领域,特别是涉及一种半导体设备真空压力控制阀的初始压力检测装置,包括装置本体,所述装置本体包含控制器和底座,所述控制器上端设有指针表,所述控制器一侧连接有干泵且干泵上端连接有阀件,所述阀件一侧连接...
一种电控节流阀的电机检测仪制造技术
本实用新型属于电控节流阀生产技术领域,具体涉及一种电控节流阀的电机检测仪,包括操控箱,所述操控箱上设置有固定待测电机的固定机构,所述操控箱上还设置有测量转速的转速测量机构,所述转速测量机构包括红外数字转速仪以及光电盘,所述光电盘可拆卸式...
一种电控节流阀流量精度检测仪制造技术
本实用新型属于节流阀生产技术领域,具体涉及一种电控节流阀流量精度检测仪,包括测试结构和流量指示仪表,所述测试结构包括外壳,所述外壳内部安装有测试流速的叶轮机构,所述流量指示仪表用于根据叶轮机构的转速指示流体流量,所述外壳设有出水口和进水...
一种电控节流阀压力检测仪制造技术
本实用新型属于节流阀生产技术领域,具体涉及一种电控节流阀压力检测仪,包括移动车架,所述移动车架的顶部安装有水箱,还包括压力检测机构以及升降装置,所述压力检测机构通过升降装置活动设置在水箱中;所述压力检测机构包括为待检阀体提供气压的加气泵...
一种便携式设备节流阀检测仪制造技术
本实用新型属于节流阀生产技术领域,具体涉及一种便携式设备节流阀检测仪,包括壳体和驱动装置,所述壳体包括握把,所述握把的顶部设置有套筒,所述壳体上安装有显示装置;所述驱动装置固定设置在套筒的内腔中,所述驱动装置的活动端连接有压杆,所述压杆...
一种高稳定性半导体设备节流阀检测仪制造技术
本实用新型属于节流阀生产技术领域,具体涉及一种高稳定性半导体设备节流阀检测仪,包括移动装置和气密性检测设备,所述气密性检测设备设置在移动装置上,所述气密性检测设备包括为节流阀提供负压的负压产生器,所述负压产生器上至少连接有三支检测气压的...
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