宏图苏州工业园区半导体技术服务有限公司专利技术

宏图苏州工业园区半导体技术服务有限公司共有10项专利

  • 本技术公开了一种用于节流阀检测的流量测试装置,涉及节流阀技术领域;而本技术包括节流阀本体,节流阀本体的顶端固定连接有安装座,安装座上设置有气密流量计,气密流量计的底端固定连接有底座,底座内壁的顶端中部转动连接有转动块,转动块的两侧均转动...
  • 本技术公开了一种高稳定性半导体设备节流阀流量检测仪,包括检测台,所述检测台上端面设有定量检测阀,所述定量检测阀一侧设有主气管且主气管一端设有密封结构,所述密封结构包含前侧管、后侧管和插杆,所述主气管一端固定连接在前侧管且前侧管一端固定设...
  • 本技术公开了一种半导体设备节流阀的压力及流量检测装置,涉及半导体检测设备技术领域;而本技术包括节流阀外壳和拆卸机构,拆卸机构包括固定箱,固定箱固定安装在节流阀外壳的外侧;通过采用上述技术方案,固定箱和外侧设有连通的凹槽,检测器插设在凹槽...
  • 本技术公开了一种半导体节流阀流量控制精度检测设备,涉及节流阀检测设备技术领域,包括底板,底板顶部通过定量抽风机设置连接管以及控制阀,底板顶部还设置流量表,出气管的出气端设置节流阀,底板顶部右侧通过测试座设置伸缩杆、夹持板、L型支板、电动...
  • 本实用新型涉及真空压力控制阀检测装置技术领域,特别是涉及一种半导体设备真空压力控制阀的初始压力检测装置,包括装置本体,所述装置本体包含控制器和底座,所述控制器上端设有指针表,所述控制器一侧连接有干泵且干泵上端连接有阀件,所述阀件一侧连接...
  • 本实用新型属于电控节流阀生产技术领域,具体涉及一种电控节流阀的电机检测仪,包括操控箱,所述操控箱上设置有固定待测电机的固定机构,所述操控箱上还设置有测量转速的转速测量机构,所述转速测量机构包括红外数字转速仪以及光电盘,所述光电盘可拆卸式...
  • 本实用新型属于节流阀生产技术领域,具体涉及一种电控节流阀流量精度检测仪,包括测试结构和流量指示仪表,所述测试结构包括外壳,所述外壳内部安装有测试流速的叶轮机构,所述流量指示仪表用于根据叶轮机构的转速指示流体流量,所述外壳设有出水口和进水...
  • 本实用新型属于节流阀生产技术领域,具体涉及一种电控节流阀压力检测仪,包括移动车架,所述移动车架的顶部安装有水箱,还包括压力检测机构以及升降装置,所述压力检测机构通过升降装置活动设置在水箱中;所述压力检测机构包括为待检阀体提供气压的加气泵...
  • 本实用新型属于节流阀生产技术领域,具体涉及一种便携式设备节流阀检测仪,包括壳体和驱动装置,所述壳体包括握把,所述握把的顶部设置有套筒,所述壳体上安装有显示装置;所述驱动装置固定设置在套筒的内腔中,所述驱动装置的活动端连接有压杆,所述压杆...
  • 本实用新型属于节流阀生产技术领域,具体涉及一种高稳定性半导体设备节流阀检测仪,包括移动装置和气密性检测设备,所述气密性检测设备设置在移动装置上,所述气密性检测设备包括为节流阀提供负压的负压产生器,所述负压产生器上至少连接有三支检测气压的...
1