本发明提供一种机械手臂、检测微纳米元件的物理特征的检测装置及检测方法。机械手臂包括一定位调整组件，其包括一滑轨组合件。滑轨组合件包括一滑轨顶盖及一弹性元件，滑轨顶盖的一滑轨容纳于一滑轨底座的一滑槽中，且弹性元件的两端分别固定至滑轨底座及...

本发明提供一种探针加工设备及加工探针的方法，探针加工设备包含一针座、一推压元件及一止挡元件，推压元件与止挡元件位于不同高度。针座具有开口，其经构形以固定探针于其中。推压元件设置在定位于针座的一侧的第一支架上，而止挡元件设置在定位于针座的...