本发明涉及用于表面离子束加工的方法和装置，其中该基片被定位在离子束对面，并且形成新的工艺上定义的性质图案。按照本发明，该离子束在该基片（８）表面（１５）上的、当前的几何结构的作用图案根据已知的性质图案和新的工艺上被定义的性质图案以及根据...