本技术涉及清洗装置技术领域，具体为一种探针卡清洗装置，包括：洗涤箱、干燥箱、收纳箱和电动滑轨；所述洗涤箱的一侧通过螺栓连接有干燥箱，所述干燥箱的一侧通过螺栓连接有收纳箱，且干燥箱与收纳箱之间通过管道连通，所述洗涤箱、干燥箱和收纳箱的底部...

本发明提出一种晶圆测试设备，包括：测试机和检测机构，其中，检测机构包括连接座、输送板、第二驱动件、固定柱、测试相机和调节组件，其中，连接座安装在测试机的内壁，输送板安装在连接座的内部，第二驱动件安装在输送板的外部，且第二驱动件的旋转轴与...

本技术涉及半导体转运领域，具体涉及一种用于晶圆烘干的转运装置，具有水平支撑台，所述水平支撑台上端放置了转运支架一和转运支架二；所述水平支撑台下端安装有导轨和导向块，所述导轨与所述导向块滑动配合，并且所述导轨前端设置有限位块；其中，所述水...