河北欧双光电激光智能装备有限公司专利技术

河北欧双光电激光智能装备有限公司共有1项专利

  • 本发明涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种晶圆片加工固定装置和激光切割装置。包括加工台,加工台设置有移动座,移动座设置有基座,基座滑动连接有放置台,加工台上固接有柔性吸附壳,柔性吸附壳设置有承载机构,放置台设置有定位机构,承载机构包括:...
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