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昊远精测光电科技上海有限公司专利技术
昊远精测光电科技上海有限公司共有1项专利
一种各向异性薄膜材料的非接触式热扩散率测量方法及装置制造方法及图纸
本发明提供一种各向异性薄膜材料的非接触式热扩散率测量方法及装置,涉及薄膜材料热扩散率测量技术领域。方法包括:对连续发射的稳定激光,进行扩束和整形,并进行动态波束整形和聚焦,得到空间分布可变的激光束形态。同时环形加热斑的中心与薄膜样品的几...
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