本发明提供了一种用于CMP的复合抛光垫和生产该复合抛光垫的方法。该用于CMP的复合抛光垫包括：软聚合物基底层，包括形成在该软聚合物基底层的上表面上的多个突起；碳纳米管层，包括嵌入并结合到所述基底层的上部的碳纳米管；和硬聚合物涂层，其中，...

本发明公开了一种装配有窗口的抛光垫，其中由于在将窗口插入并附着到抛光垫上时不采用热熔合法和振动熔合法，因此抛光垫不会变形，并且抛光浆料不会通过窗口与抛光垫之间的间隙泄漏；以及一种制造该装配有窗口的抛光垫的方法。所述装配有窗口的抛光垫包括...

本发明提供一种用于CMP的复合抛光垫和生产该复合抛光垫的方法。所述用于CMP的复合抛光垫包括：聚合物基底层，包括形成在该聚合物基底层的上表面上的多个突起；和碳纳米管层，包括嵌入并固定至所述基底层的上部的碳纳米管。

本发明提供了一种制造用于抛光垫的窗口的方法、由该方法制造的用于抛光垫的窗口以及包括该窗口的抛光垫，所述方法包括：a)通过将固化剂与温度为50℃以上但不超过100℃的聚氨酯预聚物混合来制备混合物；b)将所述混合物注射到加热至30℃以上但不...