【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本申请要求基于2022年1月20日提交的韩国专利申请no.10-2022-0008594的优先权的权益，其全部内容合并为本说明书的一部分。本专利技术涉及一种制造用于抛光垫的窗口的方法和由该方法制造的用于抛光垫的窗口。
技术介绍
1、化学机械平坦化/抛光(下文中称为cmp)工艺是为半导体器件的全局平坦化而引入的工艺，随着晶圆的直径更大、集成度更高、线宽小型化和布线结构多层化的趋势，正在成为更重要的工艺。
2、在cmp工艺中，抛光速度和平坦化是重要的，并且由抛光设备的工艺条件以及作为消耗品的抛光浆料和抛光垫决定。特别是，抛光垫在与晶圆的表面接触的同时，将供应的抛光浆料均匀地分散在晶圆上，并且通过抛光浆料内部的抛光粒子和抛光垫的表面突起来进行引起物理去除的功能。
3、通常，如图1中所示，抛光垫包括抛光层10、形成在抛光层上的窗口20和下支撑层30，并且下支撑层30具有形成在窗口下方的开口22。抛光层和下支撑层通过粘合层40结合。
4、窗口形成用于检测cmp工艺中晶圆的抛光终点，并且通过将光束诸如激光束透射通过窗口来进行检测。因此，窗口应该在光束可以穿过的特定区域中具有透射率。
5、然而，常规的窗口对于光束的穿过没有足够的透射率，因此具有使得难以精确且可靠地检测cmp工艺中晶圆的抛光终点的缺点。
6、因此，需要开发一种具有改善的透射率的窗口。
7、[现有技术文献]
8、[专利文献]
9、韩国专利特许公开no.10-2001-2696
<...【技术保护点】
1.一种制造用于抛光垫的窗口的方法，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中，在上面步骤a)中，所述聚氨酯预聚物的温度为50℃至90℃。
3.根据权利要求1所述的方法，其中，在上面步骤b)中，所述模具被加热至30℃至80℃的温度。
4.根据权利要求1所述的方法，其中，在上面步骤b)中，将所述混合物注射至2mm至5mm的厚度。
5.根据权利要求1所述的方法，其中，在上面步骤a)中的所述聚氨酯预聚物的温度为50℃至70℃，在上面步骤b)中的所述模具的温度为30℃至60℃，并且使上面步骤b)中的所述聚氨酯预聚物和所述固化剂的混合物注射到所述模具中至2mm至3mm的厚度。
6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述聚氨酯预聚物具有500至3000的重均分子量。
7.根据权利要求6所述的方法，其中，所述聚氨酯预聚物通过组合物聚合而制备，所述组合物包含：选自甲苯二异氰酸酯、4，4′-二苯基甲烷二异氰酸酯、萘-1，5-二异氰酸酯、甲苯胺二异氰酸酯、对苯二异氰酸酯、二甲苯二异氰酸酯、异佛尔酮二异氰酸酯、六亚甲基二异氰酸酯、4
8.根据权利要求7所述的方法，其中，所述组合物进一步包含选自乙二醇(EG)、1，2-丙二醇、1，3-丙二醇、1，2-丁二醇、1，3-丁二醇、2-甲基-1，3-丙二醇、1，4-丁二醇(BDO)、新戊二醇、1，5-戊二醇、3-甲基-1，5-戊二醇、1，6-已二醇、二甘醇、二丙二醇和三丙二醇中的至少一种扩链剂。
9.根据权利要求1所述的方法，其中，所述固化剂包括选自4，4′-亚甲基-双-(2-氯苯胺)(MBOCA)、二乙基甲苯二胺(DETDA)、3，5-二甲硫基-2,4-甲苯二胺及其异构体；3，5-二乙基甲苯-2,4-二胺及其异构体；4,4′-双-(仲丁基氨基)-二苯基甲烷；1，4-双-(仲丁基氨基)-苯；4，4′-亚甲基-双-(2-氯苯胺)；4，4′-亚甲基-双-(3-氯-2,6-二乙基苯胺)(MCDEA)；聚四氢呋喃-二-对氨基苯甲酸酯；N，N′-二烷基二氨基二苯甲烷；p，p′-亚甲基二苯胺(MDA)；间苯二胺(MPDA)；4，4′-亚甲基-双-(2，6-二乙基苯胺)(MDEA)；4，4′-亚甲基-双-(2，3-二氯苯胺)(MDCA)；4，4′-二氨基-3，3′-二乙基-5,5′-二甲基二苯甲烷；2，2′，3，3′-四氯二氨基二苯甲烷；和丙二醇二-对-氨基苯甲酸酯中的至少一种。
10.根据权利要求1所述的方法，其中，基于干重，所述聚氨酯预聚物与所述固化剂以9∶1至7∶3的重量比混合。
11.一种用于抛光垫的窗口，所述窗口通过权利要求1所述的制造方法制造，并且基于1.9mm的厚度在670nm光下具有5％以上的透射率。
12.一种抛光垫，包括根据权利要求11所述的窗口。
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种制造用于抛光垫的窗口的方法，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中，在上面步骤a)中，所述聚氨酯预聚物的温度为50℃至90℃。
3.根据权利要求1所述的方法，其中，在上面步骤b)中，所述模具被加热至30℃至80℃的温度。
4.根据权利要求1所述的方法，其中，在上面步骤b)中，将所述混合物注射至2mm至5mm的厚度。
5.根据权利要求1所述的方法，其中，在上面步骤a)中的所述聚氨酯预聚物的温度为50℃至70℃，在上面步骤b)中的所述模具的温度为30℃至60℃，并且使上面步骤b)中的所述聚氨酯预聚物和所述固化剂的混合物注射到所述模具中至2mm至3mm的厚度。
6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述聚氨酯预聚物具有500至3000的重均分子量。
7.根据权利要求6所述的方法，其中，所述聚氨酯预聚物通过组合物聚合而制备，所述组合物包含：选自甲苯二异氰酸酯、4，4′-二苯基甲烷二异氰酸酯、萘-1，5-二异氰酸酯、甲苯胺二异氰酸酯、对苯二异氰酸酯、二甲苯二异氰酸酯、异佛尔酮二异氰酸酯、六亚甲基二异氰酸酯、4，4′-二环已基甲烷二异氰酸酯和环已烷二异氰酸酯中的至少一种异氰酸酯化合物；以及选自聚醚多元醇、聚碳酸酯多元醇、聚酯多元醇和聚已内酯多元醇中的至少一种多元醇化合物组分。
8.根据权利要求7所述的方法，其中，所述组合物进一步包含选自乙二醇(eg)、1，2-丙二醇、1，3-丙二醇、1，2-丁二醇、1，3...
【专利技术属性】
技术研发人员：闵丙柱，洪锡智，姜学受，郑大韩，朴基瑛，张炫一，
申请(专利权)人：韩商KPX化学股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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