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杭州芯研科技有限公司专利技术
杭州芯研科技有限公司共有1项专利
一种旋转密封装置制造方法及图纸
本实用新型公开了一种旋转密封装置,涉及晶圆加工技术领域。包括座体与旋转轴,所述旋转轴贯穿设置于座体内,所述旋转轴位于座体左端内部的一段从左至右依次套装有第一油封、轴环、第二油封及第一轴承。该旋转密封装置,在使用时,通过真空吸盘吸住晶圆,...
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