本技术公开了一种片上光电互连结构、半导体芯片。在片上光电互连结构中，光信号层与电信号层通过光电互连层垂直连接，电信号的传递直接通过光电互连层沿最短或次短路径连接到光信号层。其优势在于可以减小电信号的功率损失，保证电信号质量，无需引入传统...

本发明公开了一种可单片集成有源光器件的电光调制芯片及制备方法，该电光调制芯片从上至下包括化合物半导体有源层、锗薄膜层和电光材料波导层；电光材料波导层通过光刻和刻蚀形成对应的波导结构；锗薄膜层通过光刻和刻蚀形成锗吸收层和锗衬底生长层；锗薄...

本发明属于半导体工艺与器件领域，特别涉及一种波导型可见光及近红外光探测器结构与制备方法

本发明公开了一种具有波长冗余的波分复用系统，包括光源模块、光调制模块和光接收模块，在光源模块或光调制模块进行阵列波导光栅的冗余端口设计，在光接收模块进行阵列波导光栅的冗余端口设计，通过冗余端口实现波分复用系统的波长漂移调节，配合光源模块...