本发明揭示一种消除了双晶缺陷的单晶金刚石衬底及其制备方法，更具体地，该消除了双晶缺陷的单晶金刚石衬底在包含R面(R‑plane)蓝宝石衬底的基底层的上表面配置包含铱(Ir)金属层的缓冲层而控制衬底缺陷并包括以(111)方向取向的单晶金刚...