本发明涉及一种移动型等离子装置，尤其是可产生等离子的等离子发生部可以移动，使基板织构化（Texturing）的移动型等离子装置。本发明的移动型等离子装置包括：上面配置有基板的托盘(tray)；发生等离子，喷向配置有所述托盘方向的等离子发...