本发明提供一种光栅投影三维测量系统及物体的三维测量方法，其中光栅投影三维测量系统包括：光栅条纹投影仪、图像采集传感器、图像缓存芯片以及嵌入有ARM的FPGA；光栅条纹投影仪用于向被测物体投射多幅光栅条纹；被测物体的高度对光栅条纹进行调制...

本发明公开了一种采用可控形状记忆合金的MEMS微镜。该采用可控形状记忆合金的MEMS微镜包括衬底，衬底顶部设置有可控形状记忆合金层，可控形状记忆合金层包括镜面支撑，镜面支撑的顶部设置有镜面，镜面支撑的外侧设置有第一驱动机构，第一驱动机构...

本发明公开了一种大尺寸MEMS微镜结构。该大尺寸MEMS微镜结构包括MEMS微镜，MEMS微镜包括偏转机构，所述偏转机构的底部开设有若干个空腔，偏转机构的两端设置有连接部，连接部的端部通过转轴连接有驱动机构，驱动机构的底部设置有底座，底...