多弧－磁控溅射多功能镀膜设备，属于一种镀覆设备。该设备在多弧离子镀设备中通过法兰密封在真空室的顶部或底部的轴线上装有磁控溅射靶（或加热器），每个弧源处装有挡板（或拿掉挡板）。因此它不仅能进行高温镀膜，又可在辉光放电下进行低熔点的金属与非...

一种双真空室镀膜设备，属于一种镀覆设备。该设备用同一真空抽气系统及电控设备。配有两个真空镀膜室，为此在电控系统的操作台上装有切换开关，在真空抽气系统中增加一套阀门，以实现对两个真空镀膜室进行切换，使一个真空室在镀膜，另一个真空室在装卸被...