一种能够缩短整个圆片的曝光时间的快速曝光光学系统。它是把经过掩模板并具有掩模板图形的光束，经过半透镜的透射和反射使一束光分解为两束光，经过多次这样的分解可得到多束光，经过反射镜调节方向可使每束光平行射出。这样得到的多束光强度相同方向平行...