一种制造树脂构成的微型机器部件的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：　　　　（ａ）在基片上形成一层牺牲层；　　　　（ｂ）在所述牺牲层上顺序形成至少两层光敏树脂组合物层，并对形成的各光敏树脂组合物层进行相应于预定微型机器部件的内部结构的...

提供一种能够长时间均匀地成膜薄膜，特别是有机ＥＬ膜的蒸发夹具及包含蒸发夹具的成膜装置。蒸发夹具具备：蒸发皿，该蒸发皿具有底面和由该底面立设的侧面，用于对开口于侧面内部的原料收纳空间进行规定；用于将该原料收纳空间分割成多个分空间的隔板。另...

提供一种磁控溅射装置，通过提高靶上的瞬时的腐蚀密度，使成膜速度提高，并且使腐蚀区域时间性移动，防止靶的局部性损耗，使靶实现均匀损耗，从而延长靶的使用寿命。在柱状旋转轴（２）的周围设置多个板磁体（３），通过使柱状旋转轴（２）旋转，在靶（１...

本发明提供镁合金、成型制品及镁合金的成型方法，通过提高流动性，可以成型厚度小的成型制品。该镁合金是在液相线或液相线以上温度加热熔融的状态下，通过注射成型机１０成型为规定形状的镁合金。其含有９．５～１２重量％的铝、０．６５～１．７５重量％...

本发明提供一种在要求高洁净度的领域内使用时能够抑制微波频带内的能耗，而且可均匀地分散气体的多孔质构件。多孔质构件由多孔质陶瓷形成，微波频带内的介质损耗正切是１×１０↑［－３］以下。陶瓷构件由局部备有该多孔质构件的陶瓷烧结体构成。

本发明提供一种通过加热处理能够高效地分解在排出的热风中含有的有机物的基板热处理炉。通过向炉体主体部（１０）的内部吹出热风，对玻璃基板（Ｗ）进行加热处理。从炉体主体部（１０）排出的热风经由循环路径（２０）再次返回炉体主体部（１０）。在该路...

本发明提供了一种使用非线性状态空间投影方法的非线性信号分离方法，当信号是多信道信号并且具有周期性时，通过执行时域高速非线性状态空间投影，该方法能够有效分离非线性信号。在使用非线性状态空间投影方法的非线性信号分离方法中，通过使用时域高速非...