国科光微杭州半导体设备有限公司专利技术

国科光微杭州半导体设备有限公司共有1项专利

  • 本申请涉及一种基于图像邻域分析的晶圆缺陷检测方法和系统,其中,该方法包括:对待检测的晶圆进行图像采集,得到包含完整晶圆背面的数字图像;对数字图像中每一个晶圆背面像素点进行遍历检测;在遍历检测的过程中,通过动态调整的单尺寸邻域窗口和/或固...
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