一种用于控制气流的阀装置。气体块包括进气部、出气部、以及将进气部流体连接到出气部的气腔。隔膜部被配置为用于在进气部和出气部之间控制气流。致动器被配置为改变隔膜部位置以便控制气流。致动器包括：管状壳体；柱塞，其定位在壳体内部并具有致动延伸...

一种用于控制气体的流量的设备，其包含可控制阀，其中，测量所述阀的位置和所述阀的上游的气体压力，并将其与第一查找表结合使用，以确定通过所述阀的气体的流速；以及所述可控制阀的上游的流量限制器，其中，测量流量限制器的温度以及流量限制器的上游和...

一种用于气体流量的自校准控制的方法和设备。一开始通过将节流装置的开放量控制到高精确度来设置气体流率，其中包含节流装置的设备设计使其能够实现高精确度。然后通过节流装置上游的压力下降速率来测量气体流率，如果需要，调节节流装置的开放量以获得精...

一种用于气体流量的自校准控制的方法和设备。一开始通过将节流装置的开放量控制到高精确度来设置气体流率，其中包含节流装置的设备设计使其能够实现高精确度。然后通过节流装置上游的压力下降速率来测量气体流率，如果需要，调节节流装置的开放量以获得精...

本发明的方法和装置使用气体流动控制器（ＧＦＣ）上游的压降率，来准确地测量通过ＧＦＣ的流率。在不需要任何特定或复杂的压力调节器或其它特定部件的前提下，使得能够测量通过目前生产使用中的许多气体流动控制器的气体流量。各种措施确保在测量期间或测...