预加载压电致动器和采用致动器的气阀制造技术

一种用于控制气流的阀装置。气体块包括进气部、出气部、以及将进气部流体连接到出气部的气腔。隔膜部被配置为用于在进气部和出气部之间控制气流。致动器被配置为改变隔膜部位置以便控制气流。致动器包括：管状壳体；柱塞，其定位在壳体内部并具有致动延伸部，致动延伸部延伸到壳体外部并联接到隔膜部，柱塞被配置为能够在壳体内部滑动；位于柱塞内部的压电体；以及预加载器，其向柱塞施加力以使柱塞压靠于压电体。压电体。压电体。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】预加载压电致动器和采用致动器的气阀
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求2019年7月12日提交的美国非临时专利申请No.16/510,671的权益，其公开内容以引用的方式整体并入本文。


[0003]1.领域
[0004]本公开涉及压电致动器和传递压电元件的膨胀同时保护元件免受环境影响的结构。本公开还涉及用于控制气流的阀，尤其是采用压电致动器的阀。

技术介绍

[0005]2.相关技术及解决的问题：
[0006]致动器采用在施加电压电位时膨胀的压电元件在本领域中是已知的。在例如美国专利7,859,169中公开了用于预加载压电元件的装置；然而，在该公布和其他公布中，均没有提供保护压电元件免受环境影响的措施。
[0007]因此，需要一种为压电元件提供预加载和保护的压电元件装置。此外，还需要能够在高温(例如，高达2000℃)下运行并免受环境湿气影响的装置。
[0008]可以使用阀来控制气流。在需要精确控制非常少量的气流的情况下，可以使用压电元件作为致动装置来控制流量。例如在半导体制造设备本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种致动器，包括：长型管状壳体，其具有配置为用于接纳盖帽的第一端和具有致动开口的第二端；盖帽，其配置为牢固地附接至第一端；柱塞，其位于壳体内并配置为在壳体内滑动，柱塞具有包括肩部和致动延伸部的致动端，其中，致动延伸部被设计尺寸为装配在致动开口内并通过致动开口延伸到壳体外部；至少一个压电元件，其位于柱塞内并抵接致动端的内壁；附接至所述至少一个压电元件的电引线；以及至少一个预加载元件，其位于壳体内部并在第二端和肩部之间被压缩。2.根据权利要求1所述的致动器，其中，盖帽被配置为当盖帽牢固地附接至第一端时使压电元件压靠于预加载元件。3.根据权利要求2所述的致动器，其中，预加载元件包括至少一个弹簧垫圈。4.根据权利要求2所述的致动器，其中，预加载元件包括至少一个Belleville垫圈。5.根据权利要求1所述的致动器，其中，盖帽包括用于电引线的通道。6.根据权利要求1所述的致动器，其中，压电元件包括串联堆叠的多个压电换能器。7.根据权利要求1所述的致动器，其中，壳体和柱塞中的至少一个包括Invar、Inovco或Kovar。8.根据权利要求1所述的致动器，还包括位于盖帽和压电元件之间的止动器。9.根据权利要求8所述的致动器，其中，止动器包括凹部，所述凹部被尺寸设计为在止动器和柱塞之间限定腔。10.根据权利要求1所述的致动器，其中，所述至少一个压电元件包括串联堆叠的多个压电元件，并且其中，电引线包括各自附接至所述多个压电元件中的每一个的多根引线。11.根据权利要求1所述的致动器，还包括波纹管，波纹管在波纹管的一端处密封至柱塞，而在波纹管的第二端处密封...

【专利技术属性】
技术研发人员：T，
申请(专利权)人：关键系统公司，
类型：发明
国别省市：