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一种用于控制气流的阀装置。气体块包括进气部、出气部、以及将进气部流体连接到出气部的气腔。隔膜部被配置为用于在进气部和出气部之间控制气流。致动器被配置为改变隔膜部位置以便控制气流。致动器包括：管状壳体；柱塞，其定位在壳体内部并具有致动延伸部，...
该专利属于关键系统公司所有，仅供学习研究参考，未经过关键系统公司授权不得商用。

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