本发明涉及流体流量测量技术领域，尤其涉及一种基于PMUT线性阵列测量混合气体流量的方法，包括以下步骤：建立数据样本库C；获取数据矩阵A，得到当前混合气体浓度下的时延值t<subgt;A</subgt;，将所述时延值t<...

本发明提供一种基于PMUT阵列测量混合气体流量的方法，该测量混合气体流量的方法基于PMUT阵列的超声流量计，获取数据矩阵A和数据矩阵B，通过数据矩阵A获得当前混合气体中各组分的浓度，通过数据矩阵B获得流动气体的当前超声传播速度值V<...

本技术提供一种可用于小口径管道的超声流量计，包括管道、发射超声换能器结构和接收超声换能器结构，所述发射超声换能器结构包括：第一安装座，设置于所述管道的一侧，且所述第一安装座与所述管道连通；高度调节结构，设置于所述第一安装座的内部，且所述...

本发明提供本发明提供一种基于差分式超声流量计测量混合气体流量的方法，该测量混合气体流量的方法通过差分式超声流量计获取两种不同频率下的弛豫吸收的幅值和对应的弛豫频率，进行差分后再进行混合气体中各组分浓度的计算，通过各组分的浓度计算流体流量...

本发明提供一种基于超声流量计测量混合气体浓度的方法，包括如下步骤：第一换能器组获取混合气体中氢气的原始数据，并对所述原始数据进行弛豫吸收计算，从而得到所述混合气体中所述氢气的浓度ρ1，进而得到甲烷的浓度为1

本实用新型提供MEMS芯片器件，MEMS芯片，所述MEMS芯片具有相对的正面与背面，所述背面具有背腔，所述正面具有振膜，所述振膜具有槽体，所述槽体内部设置有锯齿状结构，用于增加振膜的振动幅度。本实用新型采用锯齿状结构，有效减小了振膜的体...

本实用新型提供一种MEMS器件，包括：MEMS芯片，所述MEMS芯片具有相对的正面及背面，所述正面具有振膜，所述背面具有背腔，所述振膜上贯穿开设有孔，本实用新型对于MEMS器件来说，在器件上开孔会降低器件的刚度，提高器件的振动位移和振动...

本实用新型提供一种基于PMUT的电子烟气流检测装置及电子烟，所述电子烟气流检测装置包括：超声波传感器，用于接收和/或发射超声波信号；驱动模块，电性连接于所述超声波传感器，用于驱动所述超声波传感器接收和/或发射超声波信号；微控制器，电性连...

本实用新型涉及半导体结构领域，具体涉及一种防振膜贴附的MEMS发声器件，包括：第一基板，所述第一基板具有相对的正面及背面，所述背面具有第一腔体；振膜，所述振膜具有相对的正面及背面，所述振膜的正面与第一基板的背面固定连接；第一凸起，所述第...

本实用新型属于半导体工艺领域，具体涉及MEMS芯片发声器件，包括：MEMS芯片，所述MEMS芯片具有相对的正面及背面；基底，所述基底具有相对的正面及背面，所述基底的正面具有腔体，所述基底的正面与MEMS芯片的背面键合固定连接，所述腔体正...

本实用新型提供一种基于PMUT的小盲区超声波测距SIP电路及封装结构，所述超声波测距SIP电路包括：主控单元模块；驱动接收电路模块，电性连接于所述主控单元模块；以及超声波传感器，电性连接于所述主控单元模块和所述驱动接收电路模块，用于发射...

本实用新型提供MEMS发声器件，包括：MEMS芯片，所述MEMS芯片具有相对的正面及背面，所述背面具有背腔，所述正面具有振膜；基底，所述MEMS芯片的背面与所述基底键合固定；第一凸柱，所述第一凸柱设置在所述背腔内部对应所述基底的表面，根...

本实用新型提供一种基于PMUT的超声波接近开关，所述超声波接近开关包括：控制单元；高压驱动模块，电性连接于所述控制单元；超声波传感器，电性连接于所述高压驱动模块，用于发射并且接收超声波信号；以及检测模块，电性连接于所述控制单元和所述超声...

本发明提供一种基于超声波传感器的活体检测方法及活体检测装置，所述活体检测方法包括：发射超声波信号；发射的所述超声波信号探测到物体后产生回波信号，接收所述回波信号，得到一组测量数据X；以及利用时间/距离分段相关系数计算法计算所述数据X与参...

本发明提供一种超声波识别地面材质的方法、系统及扫地机器人，所述方法包括：获取回波信号，所述回波信号由第一超声波传感器发射的超声波触碰至所述待测地面返回由第二超声波传感器接收的信号波；处理所述回波信号，得到回波数据X1；切换所述第一超声波...

本实用新型公开了一种基于PMUT的SIP电路结构超声测距系统及其封装结构，属于超声测距技术领域，目的在于解决现有结构装配复杂，依赖手工装配，产品无法实现良好的一致性和稳定性，同时由于其体积较大且大部分都是插针式封装无法进行自动化表贴装配...

本实用新型公开了一种压电蜂鸣器SI P电路装置及其封装结构，属于蜂鸣器技术领域，目的在于解决现有传统压电式蜂鸣器声压级高功耗小，但体积较大，应用范围受限的问题。其包括BOOST升压模块、发声模块、驱动脉冲产生模块、开关模块，所述发声模块...

本实用新型公开了一种片上双芯片集成的飞行时间传感器，属于飞行时间传感器技术领域，目的在于解决现有技术发射超声波和接收超声波的性能无法同时兼顾的问题。其包括非金属外壳、PCB基板、超声波发射芯片、超声波接收芯片，所述非金属外壳安装于PCB...

本发明公开了一种晶圆级带宽调谐结构制备工艺，属于超声波传感器技术领域，目的在于提供一种晶圆级带宽调谐结构制备工艺，其采用半导体批量化的工艺，通过合适的结构设计并结合晶圆级键合的方法，可以实现批量化、自动化的生产，且可获得高一致性的样品，...

本实用新型公开了一种触摸控制SI P电路装置及其封装结构，属于触控开关技术领域，目的在于解决电容式触控开关的感应区域偏小、集成度较低且易相互干扰的问题。其包括感应模块、放大滤波模块、整形模块，感应模块与放大滤波模块电连接，整形模块与放大...