一种晶圆级带宽调谐结构制备工艺制造技术

本发明专利技术公开了一种晶圆级带宽调谐结构制备工艺，属于超声波传感器技术领域，目的在于提供一种晶圆级带宽调谐结构制备工艺，其采用半导体批量化的工艺，通过合适的结构设计并结合晶圆级键合的方法，可以实现批量化、自动化的生产，且可获得高一致性的样品，提高了良品率，降低了成本以及体积。其通过简单计算即可完成结构设计，且结构的兼容性强，针对不用的应用需求以及不同的带宽都能满足调谐的要求。工艺流程兼容性好，可以兼容如硅基半导体工艺、陶瓷工艺、金属加工工艺，对各类工艺制程以及封装形式都可以良好的兼容，且由于无手动装配与焊接等，因此可靠性较高，可适用于各类场景。本发明专利技术适用于一种晶圆级带宽调谐结构制备工艺。工艺。工艺。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆级带宽调谐结构制备工艺


[0001]本专利技术属于超声波传感器
，具体涉及一种晶圆级带宽调谐结构制备工艺。

技术介绍

[0002]超声波是一种波长极短的机械波，在空气中波长一般短于2cm(厘米)。它必须依靠介质进行传播，无法存在于真空(如太空)中。它在水中传播距离比空气中远，但因其波长短，在空气中则极易损耗，容易散射，不如可听声和次声波传得远，不过波长短更易于获得各向异性的声能，可用于清洗、碎石、杀菌消毒等。在医学、工业上有很多的应用。超声波的一种应用是超声检测，是指利用超声波对金属构件内部缺陷进行检查的一种无损探伤方法。用发射探头向构件表面通过耦合剂发射超声波，超声波在构件内部传播时遇到不同界面将有不同的反射信号(回波)。利用不同反射信号传递到探头的时间差，可以检查到构件内部的缺陷。超声波的另外一种应用是测距，超声波发射器向某一方向发射超声波，在发射时刻的同时开始计时，超声波在空气中传播，途中碰到障碍物就立即返回来，超声波接收器收到反射波就立即停止计时。超声波在空气中的传播速度为340m/s，根据计时器记录的时间t，就可以计算出本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆级带宽调谐结构制备工艺，其特征在于，包括以下步骤：S1：多孔调谐结构设计：在超声波探头的背部设计多个频率的共振腔，形成多个相邻的共振峰；S2：共振腔结构设计：所述步骤1中的共振腔是对超声信号起作用的声腔，所述共振腔的设计包括以下步骤：S2.1：材料设计：选择硬质的弹性材料作为基板制备共振腔，确保声波在共振腔内充分反射；S2.2：长度设计：基于1/4波长原理，根据超声波波长设计共振腔孔径长度，确保波长不超过共振腔孔径长度的4倍；S3：共振腔共振频率设计：共振腔的共振频率通过公式(1)计算：其中，f为共振频率；c空气中的声速；V为音腔的容积；S为出音孔面积；t音孔壁厚；a为出音孔半径；λ为修正系数，取＝1.3；根据公式(1)可知：当其他变量一定时，音腔的体积与出音孔的壁厚t呈负相关；当其他变量一定时，音腔的共振频率与音孔开孔率呈正相关；当其他变量一定时，音腔的共振频率与音腔容积呈负相...

【专利技术属性】
技术研发人员：李慧，李岚硕，
申请(专利权)人：广州蜂鸟传感科技有限公司，
类型：发明
国别省市：