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本发明公开了一种晶圆级带宽调谐结构制备工艺，属于超声波传感器技术领域，目的在于提供一种晶圆级带宽调谐结构制备工艺，其采用半导体批量化的工艺，通过合适的结构设计并结合晶圆级键合的方法，可以实现批量化、自动化的生产，且可获得高一致性的样品，提高...
该专利属于广州蜂鸟传感科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州蜂鸟传感科技有限公司授权不得商用。

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