广东省新兴激光等离子体技术研究院专利技术

广东省新兴激光等离子体技术研究院共有42项专利

  • 本技术属于加速器领域,公开了一种具有预分析结构的低能注入器,包括:机壳,机壳的内腔分隔为前后设置的两个腔室,分别为第一腔室以及第二腔室,第一腔室与第二腔室之间设置有用于离子通过的第一通孔;离子源;加速管;单透镜组件,单透镜组件上设置有用...
  • 本申请涉及一种真空腔体及真空镀膜机,真空腔体包括:腔室结构,以及设于腔室结构上的多个抽气口;抽气口分布设置在腔室结构上的一竖直切面平面周围;抽气口连接至真空泵,通过真空泵对腔室结构进行抽真空;各个抽气口在控制下以设定的抽气速率进行抽真空...
  • 本申请提供一种基于空间多焦点的激光消融装置及基于空间多焦点的激光消融诊疗一体化装置;所述激光消融装置包括:依次通过光路连接的治疗激光模块、分光模块、光调制模块、光纤耦合模块、光纤阵列、聚焦微透镜阵列;治疗激光模块用于发射治疗激光;分光模...
  • 本申请提供一种基于空间多焦点的激光诊断装置及激光诊疗装置,所述激光诊断装置包括:依次通过光路连接的诊断激光模块、光偏转模块、光纤耦合模块、光纤阵列以及聚焦微透镜阵列;其中光纤耦合模块与光纤阵列中每条光纤支路独立连接,每条光纤支路连接所述...
  • 本申请提供一种基于MPCVD的谐振腔体、MPCVD装置及其应用方法,该谐振腔体包括:包括:上腔盖,底板结构以及活动式设计的四个侧面板;所述底板结构中心设有微波馈入口,用于向谐振腔体内馈入微波;各个侧面板分别连接在上腔盖与底板结构之间,以...
  • 本申请提供一种基于MPCVD腔体的微波耦合方法及MPCVD腔体,所述方法包括:获取MPCVD腔体在多种微波场叠加方式下的沉积区域内的目标电场参数;根据所述目标电场参数计算MPCVD腔体的边界参数,并根据所述边界参数计算MPCVD腔体侧面...
  • 本技术公开了一种具有冷却结构的法拉第筒,包括:法拉第筒本体,法拉第筒本体包括筒体以及尖端,筒体的一个端部设置有尖端;冷却流道,冷却流道包括第一流道以及第二流道,第一流道以及第二流道相互连通,筒体上设置有第一流道,尖端上设置有第二流道。本...
  • 本技术属于蚀刻领域,本技术公开了一种蚀刻装置,包括:座体,座体上设置有蚀刻腔,座体上设置有薄膜安装区,薄膜安装区用于安装薄膜,薄膜将蚀刻腔分隔为两个腔室;电极,每个腔室内均设置有至少一个电极。本技术利用薄膜将蚀刻腔分隔为两个腔室,如此,...
  • 本技术公开了一种二极偏转磁铁,包括线圈和套装在所述线圈外围的磁轭,所述线圈由2n个马鞍状绕组组成,这些绕组在两相交圆或椭圆的独立区域内上下对称层叠布置,整体的横截面轮廓呈双月牙形,两月牙中绕组电流方向相反,电流密度分布均匀。本技术磁铁可...
  • 本申请涉及一种离子束流的分离装置,设于离子源的输出口,包括:平行于离子束流方向上设置的电极板和磁极板;其中,电极板和磁极板的平面在空间上相互垂直布局,电极板和磁极板相距一定距离设置;电极板包括上下分布的第一电极板和第二电极板,第一电极板...
  • 本申请涉及一种质量分析器及离子注入机,所述质量分析器,包括:设于离子源的输出口的电磁场结构,位于电磁场结构之后设定距离的狭缝板,以及设于狭缝板后方的束流测量装置;电磁场结构产生电磁场,用于对离子源输出的离子束流产生电场力与磁场力,将不同...
  • 本技术公开了一种用于离子注入的平行透镜,包括磁轭、磁极、线圈和作为离子束通道的真空盒;所述磁极具有两对,它们沿离子束通道布置,形成一种两级级联型磁极结构,两对磁极的线圈在通电时,产生方向相反的均匀磁场。本技术平行透镜使离子束穿过其后注入...
  • 本发明提供一种关于核孔膜蚀刻孔道的形状调控方法及应用其制备的核孔膜,该方法包括:预处理:在膜材料上形成潜径迹;蚀刻过程:将经过预处理的膜材料浸泡在含有蚀刻离子的导电液中,并在膜材料的两侧施加蚀刻电压,在蚀刻过程中,通过对蚀刻离子在导电液...
  • 本申请提供一种剂量调节器及放射治疗仪,所述剂量调节器包括:中空管状主体,设于所述中空管状主体的输出端口上的至少一个调节片;所述调节片与中空管状主体密封连接;所述中空管状主体的内部通道填充有传输粒子束的介质,用于将所述粒子束传导至所述输出...
  • 本技术涉及离子注入机领域,公开了一种质量分析磁铁系统,包括弧形支撑圆筒、第一磁轭和由2n个弧形鞍状绕组组成的第一线圈,第一磁轭套装在第一线圈的外围;2n个弧形鞍状绕组分成两组,每组的n个绕组尺寸依次缩小,两组绕组在弧形支撑圆筒上对称设置...
  • 本申请涉及一种真空镀膜设备及真空镀膜方法,所述真空镀膜设备包括内设镀膜区与后处理区的真空腔室,在真空腔室的镀膜区与后处理区分界线位置处的竖直切面平面周围,分布设置有抽气口阵列;各个抽气口在控制下以设定的抽气速率进行抽真空,在竖直切面平面...
  • 本申请涉及一种灯丝装夹机构、离子源及离子注入机,所述机构包括:第一灯丝固定环和第二灯丝固定环,第一绝缘定位套和第二绝缘定位套,灯丝座,第一灯丝联接杆和第二灯丝联接杆;第一灯丝联接杆和第二灯丝联接杆的顶端开设有中心孔,用于装入并固定灯丝,...
  • 本申请提供一种免疫放疗设备,包括:放射束源以及束流导管;其中,放射束源设有输出端口,束流导管的首端设有对接端口,束流导管的末端设计为易于插入人体组织的结构;输出端口与对接端口相互匹配设计且采用可拆卸方式对接;放射束源用于产生电子束流并通...
  • 本申请涉及一种引出带状离子束的离子源,包括长方体结构的弧腔以及设于弧腔外部的磁场结构;弧腔的第一侧面上设有微波窗和进气口,微波窗用于向弧腔内导入微波能量,进气口用于向弧腔内部通入气体;弧腔的第二侧面上设有引出带状束离子的引出极,用于从弧...
  • 本申请提供一种基于MPCVD的生长单晶金刚石材料的基台及基于MPCVD的生长单晶金刚石材料的方法;包括基台底座,用于支撑基台;屏蔽基台,用于包裹单晶金刚石基片侧面;可移动基台,内嵌在屏蔽基台的中部,用于承载单晶金刚石基片并相对于屏蔽基台...