本发明及玻璃基板领域的一种玻璃基板表面粗糙化的方法，通过将冲洗后的玻璃基板浸泡于第一浸泡KOH溶液池中进行预粗糙化处理，可初步调整玻璃基板表面的粗糙度，使其更易于接受后续的二次粗糙化处理，将第一次浸泡粗糙化的玻璃基板放置入第二浸泡KOH...

本发明涉及清洗排气领域的用于清洗设备对接强排风道系统的排气方法，通过在排风管道入口、中段和出口位置布置风压传感器，以每秒1次的采集频率获取实时风压数据，能够精确、全面地监测风压变化，为后续的风量调控提供准确依据，从而有效解决了因风压监测...

本技术涉及取样装置领域的一种用于石英槽药液循环取样装置，包括支架，支架上设置有接液腔，所述接液腔内设置有手动出液阀和取样瓶放置位，手动出液阀设置于取样瓶放置位的上方，且手动出液阀的出液口对准取样瓶放置位，支架的后端设置有气动出液阀，气动...

本技术涉及供液柜装置领域的一种在线式供液柜装置，包括机箱，机箱内设置有电控腔和容纳腔，所述电控腔设置于容纳腔的上端，容纳腔内设置有药桶底座和供液管路，药桶底座上设置有定位凹槽，定位凹槽内设置有用于放置药液桶的支撑底板，支撑底板与定位凹槽...

本发明涉及加热装置领域的一种用于晶圆清洗的加热装置及加热方法，包括机体，机体内设置有加热腔和电控腔，加热腔内设置有用于加热清洗液的加热组件，电控腔内设置有用于控制加热组件工作的电控组件，所述加热组件包括加热罐、进液控制阀和出液控制阀，加...

本发明公开了晶圆干燥技术领域的一种晶圆干燥装置及晶圆干燥方法，包括清洗箱及排废箱，安装架设有横移组件，清洗箱内部设有喷杆组件，清洗箱设有排风管、第二排液管及第一排液管，清洗箱底部设有快排管及快排阀，洗箱内部设有花篮，安装架设有摆臂机构，...

本技术涉及晶圆顶起机构领域的用于晶圆干燥装置的晶圆顶起机构，包括花篮、支撑架和设置于支撑架上的花篮定位组件及顶刀组件，左右侧面定位块和前后侧面定位块均设有向内倾斜的导向倾斜面，顶刀组件由四块竖立设置的顶板构成，顶板的顶部设有与定位槽的数...

本技术涉及加液机构领域的一种IPA加液机构，包括药液缓存罐，药液缓存罐的表面设置有液位口、加压口、进液口和出液口,加压口、进液口和出液口分别连接有加压气管、加液管路和出液管路，加液管路上设置有进液阀，出液管路上设置有出液阀，加压气管上设...

本技术涉及干燥装置领域的一种碳化硅衬底的干燥装置，包括干燥槽体和铰接于干燥槽体顶部一端的盖板，干燥槽体的内部为工艺腔室，在支撑底板上设有花篮定位块和顶刀机构，左右侧面定位块和前后侧面定位块均设有向内倾斜的导向倾斜面，顶刀机构由三块竖立设...

本技术公开了晶圆清洗装置技术领域的一种十腔体小尺寸单片晶圆清洗装置，包括上料机构，机箱的中部设有清洗机构，机箱远离所述上料机构的一端设有下料机构，通过设置第一上料托盘堆叠模组与第二上料托盘堆叠模组、第一上料托盘回收堆叠模组与第二上料托盘...

本技术涉及吹干装置领域的一种用于工件清洗机的吹干装置，包括清洗摆臂、固定喷淋臂和转盘，转盘的下端连接有旋转主轴，转盘上设置有用于夹紧工件的夹具，清洗摆臂设置于转盘的上方，固定喷淋臂设置于转盘的下方，所述转盘的上方还设置有吹风组件，吹风组...

本技术公开了晶圆翻转机构技术领域的一种可防止晶圆摔跌的翻转机构，包括旋转平台、伺服电机、第一限位模组及第二限位模组，第一限位模组和第二限位模组均包括第一活动板、第一治具板、第一升降气缸、第二活动板、第二治具板以及第二升降气缸，第二治具板...

本技术公开了真空等离子清洗机技术领域的一种在线式双轨道真空等离子清洗机，包括机箱，机箱的内部设有双轨道上料输送机构、双轨道下料输送机构、真空箱机构以及推料机构，Tray盘或钢片载具放置在双轨道上料输送机构中的两个输送轨道上进行传输，推料...

本技术公开了晶圆清洗加工技术领域的一种兆声波清洗机构，包括机架，所述机架安装有溢流传导箱，所述溢流传导箱的内部安装有石英缸，溢流传导箱的底部设有兆声震动单元，所述石英缸的底部设有斜面，且石英缸的底部与溢流传导箱的内壁之间具有间距以形成溢...

本技术涉及热水机领域的一种溢流式恒温热水机，包括机箱，机箱内设置有加热腔和电控腔，机箱的前端设置有用于盖合加热腔和电控腔的箱门，所述加热腔内设置有加热组件，加热组件包括冷水口、热水口和加热器，加热器设置有四个以上，四个以上的加热器之间通...

本技术涉及晶圆清洗设备领域的一种双层四腔室单片晶圆清洗设备，包括机体，机体内设置有上料区、送料区和清洗区，清洗区设置有上清洗层和下清洗层，上清洗层和下清洗层上均设置有两个清洗腔室，送料区上设置有升降导轨、平移导轨和可翻转的机械臂，机械臂...

本技术涉及晶圆换盒周转领域的一种晶圆自动换盒装置，包括机架和晶圆盒，机架的两端分别为上料工位和下料工位，所述机架上设置有料盒平移组件、寻边定位组件、料盒校正组件、平移丝杆组件、顶升组件和夹持组件，设置于机架的上料工位和下料工位处均设置有...

本技术涉及单片清洗装置领域的一种药液回收与废气去除一体的单片清洗装置，包括清洗卡盘、清洗腔室和旋转主轴，所述清洗腔室的下端设置有水气分离箱，清洗腔室与水气分离箱通过回收管道连通，回收管道包括挡圈回收管和分离箱回收管，挡圈回收管和分离箱回...

本技术公开了清洗机技术领域的在线式组件清洗机，包括外机架，且外机架的顶部设有三色灯以及至少一个风机过滤单元，所述外机架的内部设有物料输送机构、盖板输送机构、上料机构、下料机构及储料机构，所述外机架的中部设有内机架，所述内机架呈空心状以形...

本发明涉及干燥方法领域的一种碳化硅衬底的干燥方法，该干燥方法包括以下步骤：第一步，准备干燥装置，第二步，花篮校正，第三步，顶起碳化硅衬底，第四步，超纯水溢流，第五步，慢拉干燥，第六步，干燥花篮，第七步，除静电，第八步，移除花篮。采用慢拉...