【技术实现步骤摘要】
本技术涉及热水机领域,特别是一种溢流式恒温热水机。
技术介绍
1、半导体工艺中常见的金属杂质有铁、铜、铝、铬、钨、钛、钠、钾、锂等,这些杂质在rca清洗中都是需要管控的清洗对象,随着工艺制程的能力提高,相应的管控含量值也越来越低,对应的加工设备的金属析出管控也提上了计划之中,目前标准的rca清洗流程中,高温spm药液浸泡清洗后,需要过65℃热水槽溢流清洗。
2、恒温热水机在半导体清洗中起着重要的作用。半导体清洗是一个复杂的过程,需要使用多种化学物质和设备,而恒温热水机可以提供温度控制和热水供应,为整个清洗过程提供必要的条件。首先,恒温热水机可以提供温度稳定的热水,这对于半导体清洗非常重要。在清洗过程中,需要使用各种化学物质,这些物质在不同的温度下会有不同的反应速率和溶解度。恒温热水机可以精确控制水的温度,从而确保化学物质在最佳的温度下进行反应,提高清洗效果。其次,恒温热水机还可以提供持续稳定的热水供应。半导体清洗过程中需要大量的热水,如果热水供应不足或者温度波动较大,会影响清洗效果。恒温热水机可以确保持续稳定的热水供应,并保持水温的稳定,从而保证清洗过程的顺利进行。此外,恒温热水机还可以提高清洗效率。在半导体清洗过程中,需要使用各种清洗剂和化学物质,这些物质通常需要在一定的温度下进行反应。恒温热水机可以快速地将水加热到所需的温度,并保持水温的稳定,从而加速清洗过程,提高清洗效率。
3、热水金属含量多少,恒温加热供水效率高低,对整机的清洗效果影响较大,现有的热水机通常采用电加热棒烧水,由于和水面直接接触,金
技术实现思路
1、为了克服现有技术方案的不足,本技术提供一种溢流式恒温热水机,能够有效解决加热棒加热液体时会有金属材质析出至液体内的技术问题。
2、本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:
3、一种溢流式恒温热水机,包括机箱,机箱内设置有加热腔和电控腔,机箱的前端设置有用于盖合加热腔和电控腔的箱门,所述加热腔内设置有加热组件,加热组件包括冷水口、热水口和加热器,加热器设置有四个以上,四个以上的加热器之间通过供液管道相互串联,冷水口和热水口分别与相互串联的加热器中的首末两个加热器进行连通,冷水口和热水口延伸至机箱的表面;
4、加热器包括外壳、石英罐和加热管,石英罐设置于外壳内,石英罐与外壳之间设置有加热箱体,石英罐的两端均设置有罐体定位板,罐体定位板远离石英罐的一端设置有罐体固定环,罐体固定环上设置有加热管定位板,罐体固定环远离石英罐的一端设置有支撑板,支撑板的边缘与加热箱体连接,石英罐上设置有进液口和出液口并延伸至加热箱体的表面,石英罐上设置有加热通路,加热管设置于加热通路内,加热管的两端与加热管定位板连接。
5、进一步地,所述电控腔内设置有用于控制加热组件的电控元件,支撑板上设置有用于穿过加热管导线的出线接口,加热管与电控元件电性连接。
6、进一步地,所述加热箱体与石英罐之间设置有保温层,保温层由保温棉构成。
7、进一步地,所述加热器与冷水口之间设置有入口排液阀,加热器与热水口之间设置有出口排液阀,箱体的表面设置有排液口,排液口通过三通管与入口排液阀和出口排液阀连通。
8、进一步地,所述冷水口与加热器之间的供液管道上设置有用于检测水流大小的流量检测器和用于调节水流压力的压力变送器。
9、进一步地,所述箱门上设置有用于显示器,显示器用于显示热水机运行数据。
10、进一步地,所述电控腔内设置有散热组件,散热组件包括进气风扇和排气口,进气风扇和排气口相对设置于电控腔的两侧内壁上,进气风扇和排气口均延伸至箱体的表面。
11、与现有技术相比,本技术的有益效果是:设置有石英罐,液体流经石英罐内,加热管设置于石英罐的加热通路中,加热管发热使石英罐的温度升高,液体进入石英罐后吸收石英罐的热量,避免加热管与液体直接接触,通过间接热辐射加热方式有效的解决了金属材质加热棒使用时会有金属材质析出,污染水质的问题,四个以上的加热器串联式组合,液体的缩短加热时间,大大提升加热效率。
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1.一种溢流式恒温热水机,包括机箱,机箱内设置有加热腔和电控腔,机箱的前端设置有用于盖合加热腔和电控腔的箱门,其特征在于:所述加热腔内设置有加热组件,加热组件包括冷水口、热水口和加热器,加热器设置有四个以上,四个以上的加热器之间通过供液管道相互串联,冷水口和热水口分别与相互串联的加热器中的首末两个加热器进行连通,冷水口和热水口延伸至机箱的表面;
2.根据权利要求1所述的一种溢流式恒温热水机,其特征在于:所述电控腔内设置有用于控制加热组件的电控元件,支撑板上设置有用于穿过加热管导线的出线接口,加热管与电控元件电性连接。
3.根据权利要求1所述的一种溢流式恒温热水机,其特征在于:所述加热箱体与石英罐之间设置有保温层,保温层由保温棉构成。
4.根据权利要求1-3任意一项所述的一种溢流式恒温热水机,其特征在于:所述加热器与冷水口之间设置有入口排液阀,加热器与热水口之间设置有出口排液阀,箱体的表面设置有排液口,排液口通过三通管与入口排液阀和出口排液阀连通。
5.根据权利要求1-3任意一项所述的一种溢流式恒温热水机,其特征在于:所述冷水口与加热
6.根据权利要求1-3任意一项所述的一种溢流式恒温热水机,其特征在于:所述箱门上设置有用于显示器,显示器用于显示热水机运行数据。
7.根据权利要求1-3任意一项所述的一种溢流式恒温热水机,其特征在于:所述电控腔内设置有散热组件,散热组件包括进气风扇和排气口,进气风扇和排气口相对设置于电控腔的两侧内壁上,进气风扇和排气口均延伸至箱体的表面。
...【技术特征摘要】
1.一种溢流式恒温热水机,包括机箱,机箱内设置有加热腔和电控腔,机箱的前端设置有用于盖合加热腔和电控腔的箱门,其特征在于:所述加热腔内设置有加热组件,加热组件包括冷水口、热水口和加热器,加热器设置有四个以上,四个以上的加热器之间通过供液管道相互串联,冷水口和热水口分别与相互串联的加热器中的首末两个加热器进行连通,冷水口和热水口延伸至机箱的表面;
2.根据权利要求1所述的一种溢流式恒温热水机,其特征在于:所述电控腔内设置有用于控制加热组件的电控元件,支撑板上设置有用于穿过加热管导线的出线接口,加热管与电控元件电性连接。
3.根据权利要求1所述的一种溢流式恒温热水机,其特征在于:所述加热箱体与石英罐之间设置有保温层,保温层由保温棉构成。
4.根据权利要求1-3任意一项所述的一种溢流...
【专利技术属性】
技术研发人员:江永,
申请(专利权)人:广东凯迪微智能装备有限公司,
类型:新型
国别省市:
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