本发明公开了信息技术领域的晶圆清洗冷却系统的优化方法与优化系统，包括：根据数值模拟结果，制作不同风扇叶片结构和制冷剂喷嘴样件，搭建制冷系统性能测试平台，采用高速热电偶阵列和红外热成像仪，测试不同晶圆加工工艺温度下的晶圆表面温度分布特性，...

本发明涉及信息技术领域，具体涉及半导体晶圆清洗技术的一种晶圆清洗设备多腔体药液智能循环控制方法，包括：将计算得到的优化参数发送至对应清洗腔体的控制单元，调整该腔体循环泵的实际工作流量和过滤装置的实际工作状态，对该腔体的药液循环使用过程进...

本发明涉及信息技术领域，具体涉及半导体晶圆清洗技术的一种晶圆清洗输送过程的智能控制方法，包括：在晶圆输送过程中，采用陀螺仪传感器实时检测输送装置的震动和位移信号，将采集到的信号输入到预先训练的支持向量机模型中进行分类，判断当前震动和位移...

本技术涉及清洗盘领域的用于晶圆清洗的夹持式清洗盘，包括台面和固定支架，台面的上端设置有夹爪，台面的下端设置有用于带动夹爪的联动组件，夹爪绕台面的中心均匀分布，夹爪的一端通过转轴与台面可旋转地连接，转轴远离夹爪的一端穿过台面设置有传动齿轮...

本技术公开了晶圆湿法生产设备领域的一种薄片晶圆清洗盘，由吸盘主体和密封盖组成，密封盖中部开孔且贴合于吸盘主体底部固定，吸盘主体底部设有凸起插入密封盖开孔处的连接部，吸盘主体设有与连接部同轴设置的中心气道，且该中心气道顶部开口处装配有密封...

本发明涉及信息技术领域的一种智能化晶圆刻蚀工艺，包括：获取不同材料在各种药液配方下的刻蚀速率，构建覆盖多种材料体系的刻蚀速率数据库，通过比较数据库中的刻蚀速率差异，筛选出刻蚀选择性高的材料组合，确定针对性的药液配方优化方向；在刻蚀设备中...

本技术公开晶圆湿法生产设备领域的一种洁净型加热装置，包括中空壳体，壳体内设有两端密封的石英管，石英管外表面设有硅酸铝保温棉层；石英管内部设有至少一个两端导通的加热通道，且该加热通道内插入有加热管，石英管两端均设有至少一个向内部延伸的探温...

本发明公开了信息技术领域的半导体晶圆清洗系统的清洗方法和控制系统，半导体晶圆清洗系统的控制方法，包括以下步骤：获取晶圆表面图像，采用图像分割算法处理所述晶圆表面图像，识别所述晶圆表面图像中的污染区域和非污染区域，根据所述污染区域的面积、...

本发明提供一种智能半导体晶圆喷淋控制方法及系统，包括：根据所述晶圆的材质和表面粗糙度，从预设的喷淋时间‑晶圆属性关联数据库中获取该晶圆的推荐清洗时间范围；将前三步得到的所述子区域喷淋参数进行整合，形成晶圆表面清洗方案，所述清洗方案包括各...

本技术涉及寻边装置领域的一种晶圆清洗寻边装置，包括支架和旋转定位组件，支架上设置有升降组件，升降组件包括伺服电机、滚珠丝杆、活动顶升杆、活动顶升板和顶升安装板，滚珠丝杆与伺服电机传动连接，活动顶升板通过丝杆螺母与滚珠丝杆连接，活动顶升杆...

本申请提供载板表面有机胶残留清洗方法，该方法包括以下步骤：采用载板表面清洁度在线监测装置实时采集清洗过程中的表面清洁度数据，通过算法实时分析清洁度变化趋势，动态调整所述浸泡、震荡和冲洗处理参数和循环路径，自适应优化清洗方案，并预测清洗终...

本发明及玻璃基板领域的一种玻璃基板表面粗糙化的方法，通过将冲洗后的玻璃基板浸泡于第一浸泡KOH溶液池中进行预粗糙化处理，可初步调整玻璃基板表面的粗糙度，使其更易于接受后续的二次粗糙化处理，将第一次浸泡粗糙化的玻璃基板放置入第二浸泡KOH...

本发明涉及清洗排气领域的用于清洗设备对接强排风道系统的排气方法，通过在排风管道入口、中段和出口位置布置风压传感器，以每秒1次的采集频率获取实时风压数据，能够精确、全面地监测风压变化，为后续的风量调控提供准确依据，从而有效解决了因风压监测...

本技术涉及取样装置领域的一种用于石英槽药液循环取样装置，包括支架，支架上设置有接液腔，所述接液腔内设置有手动出液阀和取样瓶放置位，手动出液阀设置于取样瓶放置位的上方，且手动出液阀的出液口对准取样瓶放置位，支架的后端设置有气动出液阀，气动...

本技术涉及供液柜装置领域的一种在线式供液柜装置，包括机箱，机箱内设置有电控腔和容纳腔，所述电控腔设置于容纳腔的上端，容纳腔内设置有药桶底座和供液管路，药桶底座上设置有定位凹槽，定位凹槽内设置有用于放置药液桶的支撑底板，支撑底板与定位凹槽...

本发明涉及加热装置领域的一种用于晶圆清洗的加热装置及加热方法，包括机体，机体内设置有加热腔和电控腔，加热腔内设置有用于加热清洗液的加热组件，电控腔内设置有用于控制加热组件工作的电控组件，所述加热组件包括加热罐、进液控制阀和出液控制阀，加...

本发明公开了晶圆干燥技术领域的一种晶圆干燥装置及晶圆干燥方法，包括清洗箱及排废箱，安装架设有横移组件，清洗箱内部设有喷杆组件，清洗箱设有排风管、第二排液管及第一排液管，清洗箱底部设有快排管及快排阀，洗箱内部设有花篮，安装架设有摆臂机构，...

本技术涉及晶圆顶起机构领域的用于晶圆干燥装置的晶圆顶起机构，包括花篮、支撑架和设置于支撑架上的花篮定位组件及顶刀组件，左右侧面定位块和前后侧面定位块均设有向内倾斜的导向倾斜面，顶刀组件由四块竖立设置的顶板构成，顶板的顶部设有与定位槽的数...

本技术涉及加液机构领域的一种IPA加液机构，包括药液缓存罐，药液缓存罐的表面设置有液位口、加压口、进液口和出液口,加压口、进液口和出液口分别连接有加压气管、加液管路和出液管路，加液管路上设置有进液阀，出液管路上设置有出液阀，加压气管上设...

本技术涉及干燥装置领域的一种碳化硅衬底的干燥装置，包括干燥槽体和铰接于干燥槽体顶部一端的盖板，干燥槽体的内部为工艺腔室，在支撑底板上设有花篮定位块和顶刀机构，左右侧面定位块和前后侧面定位块均设有向内倾斜的导向倾斜面，顶刀机构由三块竖立设...