本发明涉及一种用于铝质气体分配盘的清洗剂和清洗方法，涉及清洗领域，包括：第一洗剂、第二洗剂和第三洗剂；第一洗剂以质量百分含量计包括：硫酸 1‑10%，硝酸 0.5‑5%，磷酸 1‑10%，铬酸 0.5‑5%，果酸 1‑10%，葡萄糖酸 ...

本发明属于半导体制造技术领域，公开了一种Diffuser产品自动吹扫装置。该Diffuser产品自动吹扫装置包括安装支架、吹扫组件和移动组件，上述安装支架用于安装沿竖直方向放置的待清洗Diffuser产品；上述吹扫组件能够正对上述待清洗...

本发明涉及加热基座加压检测技术领域，具体公开了一种用于加热基座的加压测试装置及测试方法，该用于加热基座的加压测试装置包括加压组件、密封组件和锁紧组件。在使用时，将至少部分加热柱穿入加压腔，随后利用密封组件与加压组件的一端连接，这样即可实...

本发明属于热整形炉技术领域，公开了一种热整形装置。该热整形装置包括炉体和炉盖。炉体竖直放置，且炉体的顶端设有开口。炉盖能够封堵于炉体的顶端开口，炉盖上间隔设有第一通孔和两个第二通孔，第一通孔位于两个第二通孔之间，第一通孔与第一加工件的第...