GJ赫伦斯专利

GJ赫伦斯专利技术

GJ赫伦斯共有1项专利

光刻设备,设备清洁方法,装置制造方法和由该方法制造的装置制造方法及图纸

本发明涉及光刻设备，设备清洁方法，设备制造方法和由该方法制造的设备。其中在一低压环境中，一个电压被施加在靠近表面的工具尖端和所述表面之间。所述表面上的污染物被吸引并附着在工具上。一激光器可被用来就地清洁光刻投影设备中的元件。

最后更新日期：2012-04-11 18:40 访问量：132