本发明涉及如下的晶圆移送装置的装载锁室及包括其的晶圆移送装置，利用可以在恒定的高真空状态下控制压力的缓冲腔室及隔离阀来分别控制装载锁室内部的多个真空房的压力，以能够维持高真空状态。本发明的晶圆移送装置的装载锁室可包括：真空房空间部，形成...