本发明提供一种巨量转移的系统及方法，利用双平台及多个取放单元的系统，当其中一组基板进行巨量转移时，另一组基板同时执行基板的更换及对位，让巨量转移与进出料同步运行，相较于传统巨量转移的方式能够提高90％以上的效率。效率。效率。

本发明提供一种涂布装置的流体控制结构，包含：一涂布单元，包括一针头、一顶针和阀体，该阀体开设有一容置空间供容设该针头和该顶针，该针头形成一中空状空间，一端开设一喷嘴；一流体供给单元，连接该涂布单元供给涂布使用的流体；以及一控制单元，连接...

本发明公开一种全光纤三维断层扫描系统，其包括扫频激光器、第一光耦合器、第一光循环器、第一光准直器、第一凸透镜、电控衰减器、第二光循环器、第二光准直器、第二凸透镜、第二光耦合器与平衡侦测器。全光纤三维断层扫描系统包括的扫频激光器能够利用撷...

本发明公开一种具信号整形的扫频激光光源系统，其包括光纤法布里