本技术公开了一种用于双列式电镀水平线的升降式回传槽体结构，包括工艺槽体、槽体底架和两组退镀回传槽体，所述工艺槽体置于槽体底架上方，两组退镀回传槽体置于槽体底架内，所述退镀回传槽体内设置有升降传输系统与水平传输系统，所述升降传输系统由升降...

本技术公开了一种单体回转空间型ALD沉积镀膜设备，包括主腔体、左腔门、右腔门，所述左腔门与右腔门通过腔门铰链分别连接到主腔体两侧，左腔门与右腔门均可与主腔体组成独立的真空反应腔室，左腔门与右腔门上分别设计有多腔室转架，所述多腔室转架分成...

本技术涉及光伏设备领域，公开了一种设置有双层气体匀流结构的大真空腔室，双层气体匀流结构包括管路盒以及设置于管路盒上、下表面的上匀流组件和下匀流组件。管路盒位于腔室内部的中间。进气管包括独立控制进气的上层进气管和下层进气管。其中，上匀流组...

本技术公开了一种摆角可固定的主轴调心机构，包括基座、传动轴、深沟球轴承、轴承衬套、轴承连接件、关节轴承、轴承端盖、角度调整件、止动垫圈、止动螺母、角度固定件，所述传动轴依次套设深沟球轴承、轴承衬套、轴承连接件、关节轴承安装在基座内，所述...

本发明涉及机械加工测量技术领域，公开了一种微分式内框测量量具及其测量方法，其中测量量具包括定量头、动量头、导杆、刻度壳、棘轮组件、微分螺杆。定量头和动量头上设置有测量端面台阶，作为第一测量刻度。定量头和动量头通过导杆连接。刻度壳的外壁上...

本发明公开了一种单体回转空间型ALD沉积镀膜设备，包括主腔体、左腔门、右腔门，所述左腔门与右腔门通过腔门铰链分别连接到主腔体两侧，左腔门与右腔门均可与主腔体组成独立的真空反应腔室，左腔门与右腔门上分别设计有多腔室转架，所述多腔室转架分成...

本发明涉及光伏设备领域，公开了一种设置有双层气体匀流结构的大真空腔室，双层气体匀流结构包括管路盒以及设置于管路盒上、下表面的上匀流组件和下匀流组件。管路盒位于腔室内部的中间。进气管包括独立控制进气的上层进气管和下层进气管。其中，上匀流组...