本发明提供了一种气体团簇离子束质谱的测量方法，将团簇离子通过静电电容器形成离子束脉冲，将离子束脉冲喷射至与场效应晶体管(FET)源跟随器连接的法拉第杯，利用示波器测量离子束脉冲中不同质量的团簇离子各自产生的信号，利用TOF质谱分析法获得...