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佛文恩股份有限公司专利技术
佛文恩股份有限公司共有5项专利
含非晶硅半导体的垂直滤色片传感器组及其制造方法技术
一种垂直滤色片传感器组形成于基片(最好是半导体基片)上,并且包括至少两个垂直堆叠的光敏传感器,每一个传感器具有不同的光谱响应。在这些传感器中至少有一个传感器包括至少一层除结晶硅以外的半导体材料(例如,碳化硅,或In↓[x]Ga↓[1-x...
垂直滤色片传感器组及其制造所用的半导体集成电路制造方法技术
通过半导体集成电路制造工艺在基片(最好是半导体基片)上形成一种垂直滤色片传感器组,该传感器组包括至少两个垂直堆叠的光敏传感器。本发明的其它方面是这种垂直滤色片传感器组所构成的阵列以及制造这种垂直滤色片传感器组及其阵列所用的方法。在一些实...
垂直的滤色片传感器组制造技术
一种垂直滤色片传感器组形成于基片(最好是半导体基片)之上,并包括至少两个垂直堆叠的光敏传感器。在较佳的实施例中,传感器组包括至少一个滤光片,它相对于传感器定位,使得通过该滤光片传播的辐射或从该滤光片反射的辐射将传播到至少一个传感器中。较...
带有载流子收集单元的垂直滤色片传感器组制造技术
一种形成于基片(最好是半导体基片)上并且包括至少两个垂直堆叠的光敏传感器的垂直滤色片传感器组以及这种传感器组的阵列。在一些实施例中,与该组中每一个尺寸最小的载流子收集单元相比,该组中至少有一个传感器的载流子收集单元在被投影到与该组顶部传...
具有全分辨率顶层和较低分辨率下层的垂直滤色片传感器组阵列制造技术
一种垂直滤色片(VCF)传感器组的阵列以及用于读出任何实施例中的阵列的方法,这种阵列任选地包括或耦合着用于将传感器中产生的光生载流子转换成电信号的电路。该阵列具有顶层(包括传感器组中的顶部传感器)以及至少一个下层(包括上述传感器中的其它...
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