本发明公开了一种用于半导体表面的抛光设备，涉及半导体抛光技术领域，包括装置本体，还包括调节装置和降温装置，其中，所述装置本体的顶部设置有加工槽，所述装置本体的顶部固定安装有升降装置，所述升降装置的输出端固定安装有安装板，所述安装板的顶部...

本发明公开了一种用于半导体表面的抛光设备，涉及半导体抛光技术领域，包括装置本体，还包括调节装置和降温装置，其中，所述装置本体的顶部设置有加工槽，所述装置本体的顶部固定安装有升降装置，所述升降装置的输出端固定安装有安装板，所述安装板的顶部...