本技术提出了一种用于微纳抛光机的离子源，包括防护壳，防护壳内设置有气体导入通道，气体导入通道处依次设置有潘宁离子枪、加速电极和静电透镜，潘宁离子枪、加速电极和静电透镜均与电源模块相连，电源模块包括施加于潘宁离子枪的电离电压Vd、施加于加...

本技术提出了一种双源离子束微纳抛光机，包括真空仓，真空仓内设置有离子源、样品台和离子束流检测机构，离子源包括两个，两个离子源均朝向样品台，离子束流检测机构包括检测组件和电流表，检测组件包括与离子源相对应的检测电极，检测电极朝向离子源的一...

本技术提出了一种基于PN型半导体模块的低温源装置，包括PN型半导体模块，PN型半导体模块包括密闭盒，密闭盒内设有多层阵列PN型半导体片，密闭盒的周侧壁为隔热壁，密闭盒的顶端为冷端面，底端为热端面，热端面与水冷循环底座相连，水冷循环底座与...