本申请提供的自动聚焦系统，涉及半导体检测技术领域，包括斩波器，所述斩波器以固定频率对两束平行光束进行周期性遮挡，以将其调制为与斩波频率一致的脉冲光；包括探测器，其搭载同步解调电路通过同步解调电路提取与所述斩波频率一致的脉冲信号，本申请通...

本申请公开了一种晶粒图像对比度增强方法及相关产品，该方法包括：获取待检测晶圆中当前晶粒的图像以及多个相邻晶粒的图像；待检测晶圆包括多个晶粒；多个晶粒包括当前晶粒和多个相邻晶粒；多个相邻晶粒均为当前晶粒相邻的晶粒；基于当前晶粒的图像的梯度...

本发明涉及一种图像匹配方法、图像检测装置以及存储介质，该方法包括获取模版图像以及待检测图像，构建模版图像的图像金字塔的第一图像，以及构建待检测图像的图像金字塔的第二图像，基于预设的平方差和算法对顶层的第一图像和第二图像进行匹配，得到顶层...

本发明涉及光学测量技术领域，具体涉及一种光学测量系统及其测量方法，光学测量系统包括光源、投影组件、成像组件和接收组件，投影组件通过光学掩模对光源发出的光束进行调制，生成携带几何图案的探测光并投射到至待测样品表面，探测光在待测样品表面形成...

公开了基于决策树及机器学习的异常样本分类识别方法，获取异常样本数据集以及分类子集；根据分类子集生成初始的决策树；将异常样本数据集输入到决策树，并判断是否满足决策树停止生成条件；若不满足，则根据未达标节点更新分类子集，并重新生成决策树；若...

一种晶圆缺陷图像生成方法及生成模型的训练方法、存储介质，其中训练方法包括：获取多个不同缺陷类别的晶圆缺陷样本图像及其缺陷类别信息；通过一扩散模型，利用缺陷类别信息作为引导信息，分别对各张晶圆缺陷样本图像进行逐步加噪后再进行逐步去噪，以恢...

本发明公开了一种照明装置、照明调节方法及晶圆检测设备，其中装置包括照明光源包括向外界导出照明光的发光面；发光面调节件用于调节发光面的位置；物镜组包括多个不同倍率且可相互切换的物镜，控制器预存有标定数据，包括不同倍率物镜的瞳面大小信息、瞳...

本公开提供了一种图像位移的检测方法、计算机可读存储介质及程序产品；检测方法包括获取待测样品的模版图像和匹配图像；分别对匹配图像和模版图像进行快速傅里叶变换，得到匹配图像的第一频谱图像和模版图像的第二频谱图像；根据第一频谱图像与第二频谱图...

本申请公开了一种基于自监督学习算法的晶圆缺陷检测方法及装置，可应用于半导体检测技术领域，该方法包括获取目标标注数据；目标标注数据为目标晶圆所对应的已标注数据；基于目标标注数据对通用检测模型的添加网络层进行训练，并得到目标检测模型；通用检...

本发明提供一种晶圆检测方法及晶圆检测装置、存储介质，其中晶圆检测方法包括通过根据检测相机的视场范围和晶粒的尺寸确定待检测晶圆的待测图像行，在对待测图像行中的晶粒图像进行差异检测过程中，若待测图像行中晶粒图像的数量小于算法阈值，则将其它晶...

本申请公开了一种缺陷检测系统、物镜像差补偿方法和缺陷检测方法。若启动像差补偿模式，将干涉仪接入到系统的光路中，将光学参考件置于系统的屋面上，干涉仪发光陆续经过光调制器件和物镜到达光学参考件，并从光学参考件原路返回直至回射到干涉仪，干涉仪...

本申请公开了一种校准方法及相关装置，获取包括初始焦面补偿值的多个焦面补偿值，焦面补偿值用于补偿自动聚焦设备焦面与成像焦面之间的差异。响应于达到校准触发条件，控制校准模块进入物镜视场，校准模块包括用于进行图像校准的图案。根据多个焦面补偿值...

本申请公开了一种标定方法及相关装置，获取多个温度值、当前温度和多个焦面补偿值。若当前温度达到多个温度值中的目标温度值，根据多个焦面补偿值，获取校准工具对应的多个检测图像。根据多个检测图像分别对应的清晰度，将所述清晰度最高的检测图像对应的...

本申请涉及光学检测技术领域，具体涉及一种成像调节装置和光学检测设备，成像调节装置包括分光件、基座和设置在基座上的两个支撑件，各支撑件上均设置有图像采集单元，分光件具有接收第一路信号光并反射产生第一出射光的第一反射面和接收第二路信号光并反...

本申请提供的光学检测装置，检焦光束经第一掩膜进入反射件，反射件的周围对入射的检焦光束进行反射，再经物镜成像在待检测晶圆表面，待检测晶圆将像进行反射再经物镜、反射件进入分束镜，经所述分束镜反射的像由所述第一探测单元获取，经分束镜透射的像进...