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饭塚八城专利技术
饭塚八城共有1项专利
气化器和半导体处理装置制造方法及图纸
一种气化器,其特征在于,具有: 气化室,气化液体原料来形成气体原料; 喷雾部,向所述气化室喷雾所述液体原料; 送出部,从所述气化室向气体出口送出所述气体原料;和 加热部,加热所述气化器, 所述送出部具有: ...
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