本发明涉及电子电路板制造技术领域，尤其涉及一种光伏硅片掩模光刻系统，包括，照射模块、特征采集模块、特征分析模块以及控制模块，照射模块用以透过掩膜版对硅片上的树脂进行照射以形成不溶的光敏树脂，特征采集模块用以获取掩模版的掩膜图像信息和完成...

本发明涉及电路板制造技术领域，尤其涉及一种基于能消除衍射的平行光光源的大幅面光刻系统，包括平行曝光光源、透镜、入射调节器、掩膜夹持器、掩膜版、移动式曝光台、控制台、光源传感器、图像传感器、对准传感器、校准传感器以及光学成像传感器。本发明...