本发明关于一种产生使用于浸渍式微影程序中的经调节浸渍流体的装置 和方法。经调节浸渍流体保护浸渍系统透镜并降低或消除污染物沉积到透镜 中，该污染物沉积到透镜中会不利地影响透镜透射度及浸渍微影系统的耐用 性。

本发明公开了一种用以于一电子处理环境中侦测一分子物种的方法。本方法将一俘获基板曝露在该处理环境中；该俘获基板的表面积不同于一正在进行电子处理的电子基板的表面积；该分子物种从该环境被输送至该俘获基板；接着便会确认该分子物种的特征，从而侦测...

在本发明的具体态样中揭露一种利用加压通气循环从基板插入及除去物质的方法。各种具体态样将流体导入一含基板的容器内，同时将压力设定在高水平。压力是维持在该高水平一段预定期间，藉由从容器除去流体以降低压力。导入流体、维持容器内的压力及降低压力...

本发明公开了一种用以于一电子处理环境中侦测一分子物种的方法。本方法将一俘获基板曝露在该处理环境中；该俘获基板的表面积不同于一正在进行电子处理的电子基板的表面积；该分子物种从该环境被输送至该俘获基板；接着便会确认该分子物种的特征，从而侦测...

一种用于传送一物品的传送容器，其特征在于，包含有：　　　　一外壳；　　　　包含有一净化材料的一净化器，该净化器连结至该外壳，该净化器设置为用来将流入该外壳内的流体净化；以及　　　　与该外壳相连结的一流体推进器，其中，该流体推进器是一风扇...

一种微影投射设备，其包括：一个支撑件，其被建构来支撑一个图案成形装置（ｐａｔｔｅｒｎｉｎｇ　ｄｅｖｉｃｅ），该图案成形装置则被建构以依据一个想要的图案而使一道投射光束形成图案。该设备具有一个基板平台（ｓｕｂｓｔｒａｔｅ　ｔａｂｌｅ）与一...

本发明是关于一种低废气性聚胺基甲酸酯，其是用于例如微影术时必须将污染物维持在非常低含量的应用。具体而言，该聚胺基甲酸酯是基本上不含有含硅物质，其在制造电子装置时存在特定污染问题。该聚胺基甲酸酯可在过滤器组装中、或在制造电子组件的环境中用...

本发明提供的是用于液体过滤的装置，所述过滤装置与复数个液体路径以流体相连通，上述复数个液体路径的至少其中一路径具有复数个液体路径的一最小同等流体流动直径。所述过滤装置包含一过滤薄膜，及一滤芯，所述滤芯包含至少一与所述过滤薄膜以流体相连通...