ELES半导体设备股份公司专利技术

ELES半导体设备股份公司共有3项专利

  • 本公开提出一种热调节装置(100),其中使工艺导热流体(110)在多个可伸展元件(105)中循环;调节所述工艺导热流体(110)的压力来伸长所述可伸展元件(105),以使得所述可伸展元件压靠在相应的受测电子装置(205)上以对所述受测电...
  • 提出了一种用于测试电子器件(105;105’)的方案;每个电子器件具有用于电接触该电子器件的多个端子(115;115’)。对应的测试系统(120、145;120’、145’)包括一组测试板(120;120’);每个测试板都配备有多个导电...
  • 提出了用于接触至少一个含许多触点元件的电子设备的系统(100)。所述系统包含具有主表面(105m)的基板(105),和多个自主表面延伸的触点终端(110),其中每个触点终端包含聚合物材料的核(125)和围绕核的传导材料的覆盖层(115、...
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