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东亚电子株式会社专利技术
东亚电子株式会社共有2项专利
用于金属导体的蚀刻的药液更新用喷嘴及蚀刻装置制造方法及图纸
本发明提供一种用于金属导体的蚀刻的药液更新用喷嘴及蚀刻装置。为了在维持最佳的环境的状态下进行对金属导体的蚀刻而促进用于金属导体的蚀刻的药液的更新,由此能够得到高品质的金属导体。为此,使用如下构成的药液更新用喷嘴:在装填药液的蚀刻液槽中配...
用于液晶玻璃蚀刻装置的药液的更新方法、药液更新用喷嘴及更新用药液制造方法及图纸
本发明涉及一种用于液晶玻璃的蚀刻装置的药液的更新方法、药液更新用喷嘴及更新用药液。为了以维持最佳环境的状态进行液晶玻璃的蚀刻而促进用于液晶玻璃蚀刻装置的药液的更新,由此可获得高品质的液晶玻璃组件。用于液晶玻璃蚀刻装置的药液的更新方法构成...
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