本发明提供一种形成刻蚀孔的方法，包括：提供晶圆，晶圆包括衬底以及位于衬底表面的待刻蚀膜层；采用预设刻蚀工艺去除部分待刻蚀膜层，在衬底上形成刻蚀孔；在形成刻蚀孔的过程中，利用CCD相机实时采集刻蚀孔底部的光学信息；基于光学信息，计算刻蚀孔...

本发明提供一种直线电机的扰动数据采集方法，属于直线电机技术领域，该方法包括：获取直线电机在运行过程中产生的多源信号集合；对多源信号集合进行特征编码，得到深度特征矩阵，深度特征矩阵用于描述当前时刻及历史时间窗口内的多个多源信号；将深度特征...