本发明提供一种适于精加工用的研磨垫，所述研磨垫用于在硅裸晶片、玻璃、化合物半导体基板及硬盘基板等中形成良好的镜面，所述研磨垫在研磨时被镜面研磨面的划痕·颗粒等缺陷少，而且被镜面研磨面的处理片数多。本发明的研磨垫是在研磨垫用基材上形成利用...