本发明涉及一种锍盐化合物、光致产酸剂和抗蚀剂组合物，该锍盐化合物结构如通式(1)所示：#imgabs0#其中，所述通式(1)中R1，R2，R3各自独立地表示包含氢原子或可含杂原子的碳原子数为1～20的烃基，R4表示包含氢原子或可含杂原子...