本发明涉及一种用于半导体晶圆示教的测量仪，即，在半导体生产线中，若在以安装半导体晶圆箱体的状态进行作业的装载台发生提取晶圆的操作臂发生损坏或故障及错误等情况下或需要进行预防性维护(在发生突发故障之前停止设备并提前进行检查、修理的作业行为...

本发明涉及一种使用测量仪的用于半导体晶圆示教的测量方法，即，在半导体生产线中，若在以安装半导体晶圆箱体的状态进行作业的装载台发生提取晶圆的操作臂发生损坏或故障及错误等情况下或需要进行预防性维护(在发生突发故障之前停止设备并提前进行检查、...

本发明涉及在半导体制造线中安装半导体晶片搬运器进行作业的装载台中，用于提取晶片的指臂受损或发生故障或错误时，或为PM，(在发生突发故障之前，停止设备进行预先检验修理的作业行为)而重新进行示教的半导体晶片示教夹具，包括：夹持器轴，在支撑板...