等离子体装备科技广州有限公司专利技术

等离子体装备科技广州有限公司共有8项专利

  • 本发明公开了一种镁合金表面防护装饰涂层及其制备方法,该防护装饰涂层包括底层、中间层和顶层,所述底层为化学钝化层,厚度约为10~200nm,所述中间层为油漆层,厚度为5~300μm,所述顶层为PVD镀膜技术制备的装饰涂层,厚度为0.5~2...
  • 本申请涉及一种连接器镀膜方法及其制备工艺,该镀膜方法包括:设置遮盖层遮挡所制备的连接器的接触组件的非镀膜部位,根据连接器镀膜所需的镀膜材料选择靶材;获取连接器的镀膜部位的成型的深孔器件的内孔结构参数;根据内孔结构参数规划镀膜部位深孔器件...
  • 本申请涉及一种小尺寸磁性材料工件的镀膜方法及真空镀膜单体机,所述方法包括:根据工艺需求选定溅射镀膜使用的靶材的材料类型与靶材数量,在真空镀膜单体机的不同运行模式下的实际运行参数,根据实际运行参数设置靶材磁场分布的物理模型,模拟真空镀膜不...
  • 本申请涉及一种分布式导气装置及真空镀膜设备,分布式导气装置包括:分布式布局的多个腔体,每个腔体内设有导气管,导气管分别连接供气管路;腔体用于容纳被镀膜的工件;供气管路用于接入镀膜气体并传输至各个导气管;导气管用于将镀膜气体注入所述腔体,...
  • 本申请涉及一种小尺寸工件镀膜装置、真空镀膜机及其镀膜方法,所述镀膜装置包括:卧式安装的转筒以及沿所述转筒轴向设置的靶材;其中,转筒内侧面上设置有突出部,靶材在转筒内侧壁位置处产生电场;在镀膜过程中,转筒在驱动装置驱动下进行转动,通过突出...
  • 本申请涉及一种密封件镀膜设备及其镀膜方法,所述密封件镀膜设备包括:固定装置,清洁腔室和镀膜腔室;其中,清洁腔室设置有第一真空泵和等离子体离子源,镀膜腔室设置有第二真空泵和化学气相沉积系统;固定装置用于固定多个密封件,以及将密封件整体从清...
  • 本申请涉及一种真空镀膜设备及其镀膜方法,所述真空镀膜设备,包括:真空腔室,该真空腔室内的镀膜区与后处理区之间设置有阻隔装置,阻隔装置用于阻隔后处理区的气体分子扩散至镀膜区,并反射至真空泵的抽气口位置;至少一个镀膜材料腔室结构,连接于真空...
  • 本申请涉及一种镀膜材料存放装置、真空镀膜设备及真空镀膜方法,所述镀膜材料存放装置包括:连接真空腔室的密封腔室,用于放置真空镀膜设备镀膜使用的镀膜材料;设于密封腔室与真空腔室接合处的真空阀门,用于连通或者分隔密封腔室与真空腔室;连接真空阀...
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