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陶嘉玲专利技术

陶嘉玲共有1项专利

一种P型微晶硅及其制备方法和应用技术

本发明提供了一种P型微晶硅及其制备方法和应用，属于光电半导体器件技术领域。本发明进行第一等离子体增强化学气相沉积(工艺气体包括SiF<subgt;4</subgt;+Ar+H<subgt;2</subgt;)，得...

最后更新日期：2025-08-05 19:40 访问量：19