通过化学键合将硅氧烷膜附着到表面上。硅酮膜由硅氧烷基团链组成，每个链都以端分子封端，端分子可以是酯类、醚类或卤素。使端分子与水反应，生成ＯＨ基团。然后使表面与封端剂接触，封端剂与ＯＨ基团反应，生成新的端基团，新的端基团能改善膜的性质。