本发明涉及一种用于对样品进行微加工的方法和设备。该设备包括样品保持器、用于将聚焦离子束(FIB)投射到样品上的FIB暴露系统、和光学显微镜(LM)的整体组合，其中LM被配置成在FIB暴露期间和/或之后对样品进行成像或监测。该方法包括以下...

本发明涉及一种用于微加工样品的设备和方法。该设备包括以下各项的整体组合：样品保持器、用于将聚焦离子束投射到样品上的第一位置上的聚焦离子束曝光系统和光学显微镜，其中光学显微镜被配置用于成像或监测所述第一位置。该方法包括以下步骤：捕获样品的...

一种用于检查样品的装置，包括：样品架和带电粒子柱，该样品架用于将样品保持在样品平面上；该带电粒子柱用于生成多个带电粒子小波束的阵列，并且将所述阵列朝向样品架引导。所述带电粒子柱包括物镜，该物镜用于将所述阵列的带电粒子小波束聚焦在样品平面...

本发明涉及一种借助于多束带电粒子检查设备来检查样品的方法以及用于执行该方法的设备。多束带电粒子检查设备配置成将带电粒子子束阵列投射在所述样品上的曝光区域内。所述设备包括检测系统，该检测系统用于检测由于带电粒子子束阵列与样品的相互作用而由...

本发明涉及一种包括操纵装置和冷却单元的组件。操纵装置包括用于样品的保持器和布置成与保持器热接触的热质量构件。操纵装置配置成将操纵装置置于热交换位置中，在所述热交换位置中，热质量构件与冷却单元热接触，并且操纵装置配置成将操纵装置从热交换位...

本发明涉及一种用于检查样本的设备。所述设备包括：用于保持样本(5)的样本保持器(10)；带电粒子列(7，8)，其用于产生一个或多个带电粒子束并将一个或多个带电粒子束聚焦在样本上的一个或多个带电粒子束点处；扫描偏转器，其用于使得所述一个或...